2018年全球工藝控制與量測設備市場結構統(tǒng)計 國產(chǎn)品牌對比分析[圖]

    半導體的工藝控制、良率管理、量測設備，主要包括尺寸測量和缺陷檢測，尺寸測量包括膜厚檢測、粗糙度測量、套刻誤差測量、OCD測量、掩模板測量等，缺陷檢測包括無圖形晶圓檢測、有圖形晶圓檢測、電子束復檢設備等。

    數(shù)據(jù)顯示，2018年前道工藝控制與量測設備市場規(guī)模64億美元，占前道工藝設備的10.8%，2019年估計降至58億美元，同比下滑10%。中國大陸市場約13億美元，其中本土晶圓廠的工藝控制與量測設備需求約占1/2，相當于6.5億美元。

2013-2019年全球工藝控制與量測設備市場規(guī)模

資料來源：智研咨詢整理

    工藝控制與量測設備市場上，尺寸測量占52%（其中，膜厚檢測占12%、套刻誤差測量占9%、OCD測量占10%、晶圓形貌測量占6%、掩模板測量占15%），缺陷檢測占比48%（無圖形晶圓檢測占5%、有圖形晶圓檢測占32%、電子束復檢設備占11%）。

工藝控制與量測設備的分類及構成

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    全球前道工藝控制與量測設備市場被KLA、應用材料、Hitachi壟斷。根據(jù)數(shù)據(jù)，全球工藝控制與量測設備市場上，KLA市占率52%，應用材料市占率12%，日立科技市占率11%，行業(yè)前三名的市占率合計75%。分產(chǎn)品看，膜厚檢測設備主要被KLA、Nova壟斷，套刻誤差測量設備被KLA、ASML壟斷，OCD測量被KLA、Nano壟斷，形貌測量、掩模板檢測、無圖形缺陷檢測、有圖形缺陷檢測等的60%以上市場被KLA占據(jù)，電子束檢測設備主要來自應用材料、ASML、KLA。

2018年全球工藝控制與量測設備的行業(yè)競爭格局

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    KLA：全球高度壟斷的工藝控制與量測設備供應商。KLA2019年銷售收入46億美元，凈利潤12億美元，毛利率59%，凈利率26%，盈利能力在全球半導體設備中較高，主要是KLA在各類工藝控制與量測設備中均處于壟斷地位，其中在晶圓形貌測量占85%，在無圖形晶圓檢測占78%，在有圖形晶圓檢測占72%，掩模板測量中占66%，在套刻誤差測量的市占率65%，在OCD測量占50%，在膜厚設備中占45%。

KLA 在各類工藝控制與量測設備的市占率

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    三家工藝控制與量測設備國產(chǎn)品牌情況

    上海精測半導體：有望成為國產(chǎn)品牌后起之秀。上海精測主要聚焦半導體前道檢測設備領域，以橢圓偏振技術為核心開發(fā)了適用于半導體工業(yè)級應用的膜厚測量以及光學關鍵尺寸測量系統(tǒng)。目前已有1臺膜厚的設備進入半導體廠商，且預期后續(xù)會取得客戶的重復性訂單，電子顯微鏡的相關設備預計在明年推向市場，其余相關的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認證以及擴展的過程中。上海精測成功引入國家集成電路大基金等專業(yè)投資機構，將會使上海精測的發(fā)展進入一個全新階段。

    中科飛測：形貌量測設備、厚度量測設備等已進入主流晶圓廠。公司創(chuàng)始人和核心團隊成員具有海外多年技術積累和管理經(jīng)驗，自主研發(fā)核心產(chǎn)品包括三維形貌量測系統(tǒng)CYPRESS系列、表面缺陷檢測系統(tǒng)SPRUCE系列等。其中公司多臺光學表面三維形貌量測設備進入本土存儲客戶，多臺厚度量測設備等檢測設備進入青島芯恩產(chǎn)線。

    上海睿勵：老牌國產(chǎn)工藝控制與量測設備供應商。睿勵科學儀器（上海）成立于2005年，距今已有14年歷史，公司曾獲三星電子多臺膜厚量測設備訂單，以及武漢新芯、長江存儲、上海華力等的數(shù)臺膜厚量測設備訂單。

三家工藝控制與量測設備本土供應商

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    相關報告：智研咨詢發(fā)布的《2020-2026年中國半導體設備行業(yè)市場運營格局及供需態(tài)勢分析報告》