隨著我國(guó)在微電子行業(yè)上的進(jìn)步,對(duì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展起到了很大的推動(dòng)作用,并且逐漸成為支柱性的產(chǎn)業(yè)之一。為滿足微電子技術(shù)發(fā)展的需要,對(duì)與之配套的高純電子級(jí)過氧化氫的要求也越來越高。
生產(chǎn)高純電子級(jí)過氧化氫的純化方法主要有以下幾種:精餾、吸附、離子交換、萃取、結(jié)晶、膜分離及以上單元操作的多元集成。以吸附法為例:吸附法在不發(fā)生相變的情況下,無需外界推動(dòng)力,通過固體吸附劑的吸附能力除去過氧化氫水溶液溶質(zhì)中的雜質(zhì)。因而其設(shè)備及工藝簡(jiǎn)單、生產(chǎn)條件溫和、操作便利,廣泛應(yīng)用到生產(chǎn)高純電子級(jí)過氧化氫工藝中。
國(guó)內(nèi)高純電子級(jí)過氧化氫生產(chǎn)規(guī)模大多數(shù)還處于試驗(yàn)和小規(guī)模生產(chǎn)階段,高品質(zhì)的產(chǎn)品少,因此開發(fā)產(chǎn)品品質(zhì)好、工藝安全性高、易于大規(guī)模生產(chǎn)的純化工藝顯得尤為重要。此外,主要的生產(chǎn)廠家基本集中在東部沿海較發(fā)達(dá)的地區(qū),而西部地區(qū)則較為稀少,這也成為制約我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)發(fā)展的重要一點(diǎn)。
2017年我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量達(dá)到了數(shù)十家,大多數(shù)企業(yè)產(chǎn)能較低,企業(yè)主要有杭州精欣化工有限公司、上海哈勃化學(xué)技術(shù)有限公司、蘇瑞電子材料有限公司、廣東中成化工股份有限公司、江陰市江化微電子材料科技有限公司等,從2017年全國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫主要企業(yè)分布可以明顯看到以華東地區(qū)為主。
高純電子級(jí)過氧化氫企業(yè)區(qū)域分布
序號(hào) | 企業(yè)名稱 | 區(qū)域 |
1 | 杭州精欣化工有限公司 | 浙江 |
2 | 上海哈勃化學(xué)技術(shù)有限公司 | 上海 |
3 | 蘇瑞電子材料有限公司 | 江蘇 |
4 | 廣東中成化工股份有限公司 | 廣東 |
5 | 江陰江化微電子材料股份有限公司 | 江蘇 |
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2017年中國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫產(chǎn)能達(dá)到了5.6萬噸,全國(guó)前五名高純電子級(jí)過氧化氫生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)能占據(jù)了46.43%的份額。
2017年全國(guó)高純電子級(jí)或氧化氫產(chǎn)能格局
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高純電子級(jí)過氧化氫是微電子行業(yè)中一種十分重要的高純?cè)噭?,主要用作半?dǎo)體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于高級(jí)絕緣層制取,電鍍液無機(jī)雜質(zhì)去除,電子行業(yè)中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽(yáng)能硅晶片的蝕刻和清洗。在處理過程中,試劑中的雜質(zhì)會(huì)對(duì)元器件性能產(chǎn)生致命影響,因此,高純過氧化氫對(duì)純度的要求非??量?。
隨著我國(guó)集成電路和微電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高純電子級(jí)過氧化氫需求量逐漸擴(kuò)大,應(yīng)用范圍不斷增加,高純電子級(jí)過氧化氫存在巨大的潛在市場(chǎng)。
2017年我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)需求量7.15萬噸,同比2016年的6.17萬噸增長(zhǎng)了15.88%。
2011-2017年中國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)需求量
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隨著我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫需求規(guī)模的快速提升,2017年我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)產(chǎn)能約5.6萬噸,產(chǎn)量增長(zhǎng)至4.35萬噸,同比2016年的3.98萬噸增長(zhǎng)了9.3%,近幾年我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)產(chǎn)量情況如下圖所示:
2011-2017年中國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)產(chǎn)量
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智研咨詢發(fā)布的《2019-2025年中國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)市場(chǎng)運(yùn)營(yíng)態(tài)勢(shì)及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》數(shù)據(jù)顯示:2017年我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域高純電子級(jí)過氧化氫需求量為4.74萬噸,占行業(yè)需求總量的66.29%;晶硅太陽(yáng)能電池領(lǐng)域需求量為0.79萬噸,需求占比為11.05%;液晶面板等其他領(lǐng)域需求總量為1.62萬噸,需求占比為22.66%。
2017年我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫需求領(lǐng)域分布格局
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2011-2017年我國(guó)不同應(yīng)用領(lǐng)域高純電子級(jí)過氧化氫需求統(tǒng)計(jì)圖
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近幾年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈,我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)投入開始出現(xiàn)強(qiáng)勁增長(zhǎng),一定程度上帶動(dòng)了我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫的市場(chǎng)規(guī)模,2017年我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了5.07億元,同比2016年的4億元增長(zhǎng)了26.75%,近幾年我國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫規(guī)模情況如下圖所示:
2011-2017年中國(guó)高純電子級(jí)過氧化氫市場(chǎng)規(guī)模
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