研判2025！中國(guó)半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、市場(chǎng)規(guī)模及重點(diǎn)企業(yè)分析：行業(yè)發(fā)展支撐中國(guó)芯片精密制造，驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)工藝升級(jí)[圖]

內(nèi)容概況：半導(dǎo)體流量計(jì)作為半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵部件，廣泛應(yīng)用于氣體與液體流量的精確控制。隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，芯片制造、封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)持續(xù)擴(kuò)張，對(duì)高精度、高性能半導(dǎo)體流量計(jì)的需求不斷增加。2024年，中國(guó)半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模為12.3億元，同比增長(zhǎng)9.82%。

相關(guān)上市企業(yè)：川儀股份（603100）

相關(guān)企業(yè)：廣東奧迪威傳感科技股份有限公司、北京志鴻恒拓科技有限公司、上海菱聯(lián)自動(dòng)化控制技術(shù)有限公司、重慶川儀自動(dòng)化股份有限公司、晶晨半導(dǎo)體（上海）股份有限公司、紫光國(guó)芯微電子股份有限公司、中科寒武紀(jì)科技股份有限公司、海光信息技術(shù)股份有限公司、大洋電機(jī)新動(dòng)力科技有限公司、上海電驅(qū)動(dòng)股份有限公司、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、拓荊科技股份有限公司、沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體流量計(jì)、半導(dǎo)體流量計(jì)市場(chǎng)規(guī)模、半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)現(xiàn)狀、半導(dǎo)體流量計(jì)發(fā)展趨勢(shì)

一、行業(yè)概述

半導(dǎo)體流量計(jì)是專為半導(dǎo)體制造設(shè)計(jì)的高精度流量測(cè)量與控制設(shè)備，用于監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)半導(dǎo)體工藝中液體或氣體的線性/非線性、質(zhì)量/體積流量。其核心特點(diǎn)是高精度（±0.5%FS以上）、耐腐蝕、寬量程（覆蓋sccm至slm級(jí)）、快速響應(yīng)（毫秒級(jí)），適配半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)流體純凈度（如5N/6N級(jí)氣體）和工藝穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。典型應(yīng)用場(chǎng)景包括沉積、蝕刻、離子注入、清洗、CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）等設(shè)備，以及氣體供應(yīng)系統(tǒng)、立式爐/臥式爐等。

二、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括傳感器（如加熱元件、溫度傳感器、壓差式傳感器、超聲波傳感器、科里奧利傳感器等）、控制與執(zhí)行模塊（如微處理器、算法芯片、驅(qū)動(dòng)電路、氟橡膠、PTFE密封圈，真空泵、過濾器等）、結(jié)構(gòu)與外殼（如鋁合金、不銹鋼、陶瓷、高純度石英玻璃等）等。產(chǎn)業(yè)鏈中游為半導(dǎo)體流量計(jì)生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。產(chǎn)業(yè)鏈下游主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中，如沉積設(shè)備、蝕刻設(shè)備、立式爐/臥式爐/RTP等。

隨著工業(yè)自動(dòng)化、智能制造的推進(jìn)，對(duì)于高精度、高性能傳感器的需求不斷增加。壓力傳感器作為其中的關(guān)鍵部件，在汽車制造、航空航天、石油化工等多個(gè)領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，市場(chǎng)需求的持續(xù)釋放推動(dòng)了行業(yè)規(guī)模的擴(kuò)大。2024年，中國(guó)壓力傳感器行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模為714.2億元，同比增長(zhǎng)9.79%。在半導(dǎo)體制造中，壓力傳感器通過精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)工藝氣體壓力、控制沉積/蝕刻環(huán)境，直接保障芯片良率。例如，熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）依賴壓力傳感器實(shí)現(xiàn)±0.5%FS的流量精度，適配sccm級(jí)氣體調(diào)控；壓差式流量計(jì)則通過層流壓差與流量線性關(guān)系，適配大流量腐蝕性氣體（如Cl?、NF?）輸送。此外，壓力傳感器在半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控、安全系統(tǒng)及環(huán)境控制中發(fā)揮關(guān)鍵作用，如維持潔凈室氣壓穩(wěn)定、監(jiān)測(cè)氣體泄漏等。

集成電路作為現(xiàn)代科技的核心部件，廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、電腦、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等多個(gè)領(lǐng)域。隨著5G通信、人工智能、大數(shù)據(jù)等新興技術(shù)的快速發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)集成電路的需求持續(xù)攀升。特別是在5G智能手機(jī)的普及和物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備的廣泛應(yīng)用的推動(dòng)下，集成電路的需求量大幅增加，這為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的增長(zhǎng)提供了廣闊的市場(chǎng)空間。2025年1-8月，中國(guó)集成電路產(chǎn)量為3429.1億塊，同比增長(zhǎng)20.53%。而在半導(dǎo)體制造過程中，氣體與液體流量的精確控制至關(guān)重要，這使得半導(dǎo)體流量計(jì)成為制造設(shè)備中不可或缺的關(guān)鍵部件。隨著集成電路產(chǎn)量的大幅增加，對(duì)半導(dǎo)體流量計(jì)的需求也相應(yīng)增長(zhǎng)。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)市場(chǎng)動(dòng)態(tài)分析及投資趨勢(shì)研判報(bào)告》

三、市場(chǎng)規(guī)模

半導(dǎo)體流量計(jì)作為半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵部件，廣泛應(yīng)用于氣體與液體流量的精確控制。隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，芯片制造、封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)持續(xù)擴(kuò)張，對(duì)高精度、高性能半導(dǎo)體流量計(jì)的需求不斷增加。2024年，中國(guó)半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模為12.3億元，同比增長(zhǎng)9.82%。

四、重點(diǎn)企業(yè)經(jīng)營(yíng)情況

當(dāng)前，中國(guó)半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)呈現(xiàn)“龍頭企業(yè)引領(lǐng)、細(xì)分領(lǐng)域分化、國(guó)產(chǎn)替代加速”的競(jìng)爭(zhēng)格局。以北京華丞電子、格里機(jī)電、芯笙微納為代表的企業(yè)占據(jù)技術(shù)制高點(diǎn)，在質(zhì)量流量控制器（MFC）領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)進(jìn)口替代，如華丞產(chǎn)品精度達(dá)±0.5%FS，適配28nm及以上制程，氦氣回收率超92%，市場(chǎng)占有率突破30%。未來，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)能擴(kuò)張與技術(shù)創(chuàng)新，行業(yè)將加速向“技術(shù)+服務(wù)”雙輪驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)型，龍頭企業(yè)通過垂直整合強(qiáng)化競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，新興企業(yè)聚焦細(xì)分賽道實(shí)現(xiàn)差異化突圍，整體呈現(xiàn)“強(qiáng)者恒強(qiáng)、專精特新崛起”的競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)。

陜西易度智能科技有限公司作為國(guó)內(nèi)首家通用型層流質(zhì)量流量計(jì)廠商，由西工大團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立，專注高精度層流壓差技術(shù)研發(fā)。其產(chǎn)品精度達(dá)±0.5%FS，適配sccm級(jí)微流量控制，流量控制范圍0.5SCCM-10000SLPM，通過3000萬次疲勞測(cè)試無衰退。公司擁有20余項(xiàng)創(chuàng)新專利，獲中國(guó)計(jì)量科學(xué)院CPA認(rèn)證，是全球第二家能生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計(jì)的企業(yè)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源等40+行業(yè)，服務(wù)5000+客戶，形成西安研發(fā)中心輻射全國(guó)的體系，研發(fā)團(tuán)隊(duì)碩士占比超1/4，助力解決流體測(cè)控難題，填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)高端流量計(jì)空白。

青島芯笙微納電子科技有限公司依托山東大學(xué)科研孵化，聚焦半導(dǎo)體工藝氣體精準(zhǔn)測(cè)控。其S300/S500系列MFC及DF500專用控制器采用熱式/層流壓差技術(shù)，精度±0.5%FS，毫秒級(jí)響應(yīng)，量程比100:1。產(chǎn)品通過SEMI標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，擁有35+國(guó)家專利，溫度補(bǔ)償技術(shù)使溫漂誤差控制在1%以內(nèi)，10L流量控制器波動(dòng)僅±8sccm，優(yōu)于競(jìng)品。服務(wù)1000+重點(diǎn)客戶，參與CSEAC等行業(yè)展會(huì)，提供全生命周期技術(shù)支持，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體沉積、蝕刻等工藝，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)口替代，支撐產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。

五、行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)

1、行業(yè)技術(shù)不斷創(chuàng)新，驅(qū)動(dòng)高精度與智能化升級(jí)

未來，中國(guó)半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)將圍繞“高精度、智能化、微型化”三大技術(shù)方向突破。高精度方面，通過MEMS技術(shù)、硅基傳感器優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)±0.1%FS甚至更高精度的流量控制，滿足先進(jìn)制程（如3nm及以下）對(duì)氣體/液體流量的嚴(yán)苛要求。智能化方面，AI算法將深度融入流量預(yù)測(cè)與工藝優(yōu)化，例如通過機(jī)器學(xué)習(xí)分析歷史數(shù)據(jù)，動(dòng)態(tài)調(diào)整流量參數(shù)，降低氣體消耗30%以上；數(shù)字孿生技術(shù)則可實(shí)現(xiàn)工藝全流程模擬，提前預(yù)警設(shè)備異常，提升良率。微型化方面，0.01sccm級(jí)超微流量控制技術(shù)將突破，適配納米級(jí)沉積、蝕刻工藝需求。此外，碳化硅等新型材料的應(yīng)用將提升設(shè)備耐腐蝕性，延長(zhǎng)使用壽命，降低維護(hù)成本。

2、政策推動(dòng)國(guó)產(chǎn)化替代，加速產(chǎn)業(yè)鏈自主可控

在政策驅(qū)動(dòng)下，國(guó)產(chǎn)化替代將成為行業(yè)核心趨勢(shì)。政策支持促使國(guó)內(nèi)企業(yè)加大研發(fā)投入，提升產(chǎn)品性能和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。未來，龍頭企業(yè)如北京華丞、青島芯笙將通過垂直整合，強(qiáng)化從傳感器、閥門到控制系統(tǒng)的全鏈條研發(fā)能力。例如，華丞已實(shí)現(xiàn)MFC產(chǎn)品精度達(dá)±0.5%FS，氦氣回收率超92%，有效替代進(jìn)口產(chǎn)品；芯笙則通過熱式/層流壓差技術(shù)，實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)響應(yīng)，適配CVD/PVD工藝。隨著“十四五”規(guī)劃對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的持續(xù)推進(jìn)，行業(yè)將形成“技術(shù)+服務(wù)”雙輪驅(qū)動(dòng)的競(jìng)爭(zhēng)格局。

3、隨著環(huán)保政策嚴(yán)控下，綠色制造與循環(huán)經(jīng)濟(jì)成新增長(zhǎng)點(diǎn)

隨著全球ESG要求趨嚴(yán)，綠色制造將成為半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)的新增長(zhǎng)點(diǎn)。一方面，企業(yè)將通過優(yōu)化設(shè)計(jì)降低能耗，例如采用低功耗傳感器、節(jié)能型閥門，減少設(shè)備運(yùn)行成本；另一方面，循環(huán)經(jīng)濟(jì)模式將推廣，如氦氣回收率從92%提升至95%以上，減少稀有氣體消耗。此外，模塊化設(shè)計(jì)將支持設(shè)備快速升級(jí)與再制造，延長(zhǎng)產(chǎn)品生命周期。例如，陜西易度通過層流壓差技術(shù)，實(shí)現(xiàn)sccm級(jí)微流量控制，同時(shí)通過3000萬次疲勞測(cè)試驗(yàn)證設(shè)備可靠性，降低客戶更換頻率。政策端，《國(guó)家計(jì)量行動(dòng)方案》將持續(xù)推動(dòng)高精度傳感器研發(fā)，支持企業(yè)突破“雙碳”目標(biāo)下的綠色制造技術(shù)，形成“需求擴(kuò)張-技術(shù)升級(jí)-成本優(yōu)化”的良性循環(huán)，支撐半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.elizabethfrankierollins.com）發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體流量計(jì)行業(yè)市場(chǎng)動(dòng)態(tài)分析及投資趨勢(shì)研判報(bào)告》。智研咨詢是中國(guó)領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號(hào)，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。